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激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
| 类 | 混合器组成/（10-2） | 用途 | |||||||||||||
| H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCI | 平衡气 | |||||
| 氦氖激光混合气 | 2-8.3 | 用于工业生产，科学研究和国防建设等领域 | |||||||||||||
| CO2激光混合气 | 0.4 |
13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
2.0 4.0 2.0 4.0 |
主要用于激光加工，如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等 | ||||||||||
| 氪氟激光混合气 | 5.0 | 10.01-0.2 | 用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 | ||||||||||||
| 密封束激光气 | 18.5 | 3 | 2.5 | 作研究用的密封束激光气 | |||||||||||
| 准分子激光气 | 25.8 | 9.8 | 0.004 | 15.02 | 5.0 |
Ar He He Ar |
准分子激光器用于医疗上的外科手术 | ||||||||
密闭操作，局部排风，储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。避免光照。库温不宜超过30℃。工作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。应与酸类、碱类、醇类、食用化学品分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。应严格执行极毒物品“五双”管理制度。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。禁止撞击和震荡。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
